波長分散型X線分光器、エネルギー分散型X線分光器

　近年、材料，部品，製品の小型化・高性能化がますます進んでおり、新素材の研究や新製品開発において、表面分析の重要性が強く認識されてきています。一方、製品等のクレーム処理においても原因究明と防止対策、改善案の提言のために、調査の一環として微小部の元素分析が必要とされてきています。当社では表面分析技術として、波長分散型X線分光器(WDS/WDX)，エネルギー分散型X線分光器(EDS/EDX)の両装置を使い分けてお客様からのご要望に対し、スピーディーに、精度良く、満足していただけるよう対応しています。

　両装置は細く絞った電子線を試料表面に照射し、その部分から発生してくる特性X線を検出してどんな元素が、何処に、どれだけあるのかを明らかにする微小領域(μｍ～)の元素分析装置です。

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  WDS：波長分散型X線分光器
  （Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer）
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  EDS：エネルギー分散型分光器
  (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)

①定性分析・・・どんな元素で構成されているのかを調べます。
②定量分析・・・どれぐらいの量を含んでいるのかを調べます。
③面・線分析・・どんな濃度分布状態なのかを調べます。